よくあるご質問

Q1. 「ダイレクト方式」とは何ですか?
A. 「ダイレクト方式」は、放電空間内でワークを処理する方式です。 
大気圧プラズマ装置には、「ダイレクト方式」 「リモート方式」 「ジェット方式」 などがございます。「リモート方式」 「ジェット方式」は、プラズマを間接的にワークに照射します。
Q2. ウェルの大気圧プラズマ装置のメリットは何ですか?
A. 「ダイレクト方式」により、さまざまな用途 (表面改質処理からアッシング・エッチング・ナノコーティング) に対応が可能な点です。
Q3. 大気圧プラズマ装置本体以外に排気設備・冷却設備は必要でしょうか?
A. 必要ございません。
ウェルの大気圧プラズマ装置はオゾン・窒素酸化物が発生せず、低消費電力仕様によりプラズマリアクターヘッドは空冷方式となっています。
Q4. 既存設備に大気圧プラズマ装置を搭載することは可能ですか?
A. 可能です。
プラズマリアクターヘッドはお客様のワークサイズに合わせて製作することも可能です。
Q5. プロセス温度(ワーク表面)はどのくらいですか?
A. 通常の表面改質のワーク表面上で、30℃~40℃程度です。プロセス時間・リアクターヘッドとの距離・ガス種などにより多少異なります。
Q6. プラズマリアクターヘッドからワーク処理表面までの距離はどのくらい必要ですか?
A. 約5mm程度です。
Q7. ガラス基板などの大型ワークの処理は可能ですか?
A. 可能です。
プラズマリアクターヘッドはワークサイズに合わせて製作可能ですので、大型基板の大面積エリアを一括プラズマ処理出来ます。
Q8. どのような形状のワークでも処理できますか?
A. ウェルの大気圧プラズマ装置は大型ワーク基板処理を得意としています。
3D形状・特に処理面の凹凸が10mm以上あるようなワークには、あまり効果が期待出来ません。
Q9. アルゴンガスを使用するとコストが増えませんか?
A. アルゴンガスは、従来の大気圧プラズマ装置で使用されている窒素ガスに比べ単価が割高です。

しかし毎分消費量で比較すると
■ 窒素プラズマ装置     ・・・120リットル以上 (弊社調べ)
■ ウェルのプラズマ装置  ・・・わずか 3リットル
窒素プラズマ装置よりもアルゴンガスは使用量のランニングコストを低く抑えられます。

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