大面積エリアに高密度プラズマを発生・均一な大面積処理! 　　　　　　　　　　　　　　大気圧プラズマ装置

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  ウェルの大気圧プラズマ表面改質装置は大気圧下で安定的にグロー放電を発生させ、オゾン・

  窒素酸化物の発生を抑え（リデュース）、消費電力を1/10以下にすることでCO2を削減、ガス消

  費量を1/40以下 （注1）  に削減する”環境にやさしい”低温プラズマ装置です。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

  特許取得済の独自のリアクターヘッドにより大面積エリアに高密度プラズマを発生させ、均一な

  大面積処理が可能になったことで半導体ICパッド部クリーニングからFPC基板液晶ガラス基板

  等の大型ワーク（ガラス基板等）の量産インラインシステム構築が容易になり高い量産性を生み

  出します。

 

  従来設備のように真空チャンバーを必要としないため、設備投資とランニングコストの低減を実現

  しております。表面改質からナノコーティングまで幅広く対応します。    　　     　 （注1）・・・・当社比

 

  

 ・2010/8/2         8/12-16 夏期休業のお知らせ           　 　　　　    　　　　　　　　　　 一覧ページ

 

 ・2010/7/23       「ワーク別 表面改質事例」をアップしました　            　 　　　　   

 

 ・2010/6/28        デモ機をアップグレードしました　　　　　　　          　　　　　　　   

 

 ・2010/6/25        「アルゴンガスについて」をアップしました            　　　　　　　   

   

 ・2010/4/21 　    4/29-5/5 ゴールデンウィーク休業のお知らせ

                                                                         　　           

 ・2010/2/24       2010年3月3日 「千葉県複合材料技術研究会 第3回研究会」にて技術講習

                                        会を行います 

　　　　　　　　　　　　　　　　 

 ・2010/2/1 　      2010年4月 第20回 ファインテック・ジャパン内 【第2回国際タッチパネル技

                               術展】に出展致します                                                            


 ・2010/1/28    　 大気圧プラズマ装置が"枠組みを変える半導体実装技術の新展開"として

                 　　        　　　　「Semiconductor FPD World 2010年2月号」に掲載されました 

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リアクタヘッド部 動画 （再生時間:00:17）

 

 

 

 

 

大気圧プラズマ装置

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Fax ：03（5715）3502

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